1.总结了微机械悬臂梁的静电、压电、热、电磁等驱动技术，推导了计及边缘效应的梳状静电驱动器静电力公式。
2., 总结了微机械悬臂梁的静电、压电、热、电磁等驱动技术，推导了计及边缘效应的梳状静电驱动器静电力公式。
3.总结了微机械悬臂梁的静电、压电、热、电磁等驱动技术，推导了计及边缘效应的梳状静电驱动器静电力公式。
4.他们惊讶地发现，悬臂弯曲的角度和液体的粘稠度具有线性关系，而悬臂的弯曲度可以通过电子设备读出。
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